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    E-BEAM 증착기VTE-1350v, VTE-2700v

    바큠텍 E-BEAM 멀티 증착기

    우수한 재연성과 높은 증착율 / 밀착력이 뛰어나며 균일한 두께 균일도 확보와 높은 생산성

    E-BEAM

      사양 및 모델 VTE-1350v VTE-2700v
      증착실 크기 D 1350 x H 1500 mm D 2700 x H 1540 mm
      증착원 4Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source 6Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source
      지그 시스템 4 Dome 4 Dome
      진공 대기시간 Less than 10 min. @ 5E-5Torr Less than 10 min. @ 5E-5Torr
      총 소요시간 About 35 min. About 35 min.
      전력 요구사항 3P, 380V, 100Kw 3P, 380V, 120Kw