아크 스퍼터링 장치VTAS-1200V

바큠텍 아크스퍼터

고속증착이 가능하며 플라스틱 계열 모재에 메탈 코팅이 가능. / 밀착력 개선

AR SPT

증착실 크기	D 1200 x H 1650 mm
적재용량	D 180 x 12 Axis, Uni. Zone: 1,300mm
ARC 스퍼터 타겟	12 Sets, 4 Inches
진공 대기시간	Less Than 20 Min. @ 5E-5Torr
진공 펌프	Rotary Pump/ D.P/ Polycold System
시스템 사이즈	W 4,000 X D 5,000 x H 3,000 mm
전력 요구사항	3P, 380v, 180kw
기계중량	Approx. 5.0 Ton