contents

AR E-BEAMVTE-1800G

바큠텍 AR E-BEAM 증착기

광학(안경렌즈 무반사 코팅)에 최적화된 높은 제품 양산성 및 박막 균일도를 확보

효과적인 이온소스를 사용하여 박막의 밀착력을 개선

공정선택 후 시작 버튼을 누르면 자동 공정 진행 및 인간과 기계를 보호하기 위한 안전장치

AR E-BEAM

    사양 및 모델 VTE-1600G VTE-1800G
    증착실 크기 D 1600 x H 1600 mm D 1800 x H 1600
    증착원 4Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source 6Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source
    적재 능력 Lens 124 Sets Lens 210 Sets
    진공 대기시간 Less than 10 min. @ 5E-5Torr Less than 10 min. @ 5E-5Torr
    총 소요시간 About 25 min. About 25 min.
    전력 요구사항 3P, 380V, 60Kw 3P, 380V, 80Kw