바큠텍 AR E-BEAM 증착기
광학(안경렌즈 무반사 코팅)에 최적화된 높은 제품 양산성 및 박막 균일도를 확보
효과적인 이온소스를 사용하여 박막의 밀착력을 개선
공정선택 후 시작 버튼을 누르면 자동 공정 진행 및 인간과 기계를 보호하기 위한 안전장치
사양 및 모델 | VTE-1600G | VTE-1800G |
증착실 크기 | D 1600 x H 1600 mm | D 1800 x H 1600 |
증착원 | 4Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source | 6Kw, Ion Gun / 10Kw, E-Beam Source |
적재 능력 | Lens 124 Sets | Lens 210 Sets |
진공 대기시간 | Less than 10 min. @ 5E-5Torr | Less than 10 min. @ 5E-5Torr |
총 소요시간 | About 25 min. | About 25 min. |
전력 요구사항 | 3P, 380V, 60Kw | 3P, 380V, 80Kw |