알루미늄 고속 스퍼터링 장치VTS-1250S

바큠텍 알루미늄 고속 스퍼터

타겟의 높은 전류 밀도로 고속 증착 가능 >9 ㎛ / hr.@ Al

시료에 바이어스 인가를 통한 높은 밀착력 개선

100℃ 이하의 낮은 공정으로 융점이 낮은 플라스틱 계열의 모재에 메탈 코팅이 가능함

AR SPT

증착실 크기	W 1250 x L 1250 x H 1650 mm
적재용량	D 140 x 12 Axis, Uni. Zone: 1,300mm
실린더리컬	4 Sets, 4 Inches
진공 대기시간	Less Than 20 Min. @ 5E-5Torr
진공 펌프	Rotary Pump / D.P / Booster Pump / Polycold System
시스템 사이즈	W 4,000 X D 5,000 x H 3,000 mm
전력 요구사항	3P, 380v, 180kw
기계중량	Approx. 5.0 Ton